壓敏電阻工藝誤差的影響分析

摘要： 為了解決由于壓敏電阻工藝過程中的工藝誤差導致壓力傳感器輸出靈敏度和輸出量程產(chǎn)生偏差的問題，通過定位壓敏芯片在工藝過程中產(chǎn)生誤差的工藝步驟，分析相關步驟的誤差對器件性能的影響。利用共聚焦顯微鏡、掃描電子顯微鏡等設備對歐姆接觸區(qū)擴散開孔、DRIE刻蝕壓敏電阻以及背腔刻蝕3個工藝步驟中引入的誤差進行分析，分析結果表明前兩個步驟引入的誤差主要表現(xiàn)為電阻值的縮小，使得輸出電壓偏差最大達到...