面向光電子器件的鈮酸鋰鍵合技術(shù)研究進(jìn)展

摘要： 鈮酸鋰作為一種優(yōu)良的多功能晶體材料，在光學(xué)、聲學(xué)、電學(xué)和電子領(lǐng)域應(yīng)用較廣。已有研究表明，在集成光電子器件應(yīng)用中對(duì)鈮酸鋰晶片進(jìn)行鍵合，可提高器件的傳輸頻率，降低損耗，實(shí)現(xiàn)高集成密度。該文總結(jié)了近年來(lái)國(guó)內(nèi)外有關(guān)鈮酸鋰晶片鍵合技術(shù)的研究現(xiàn)狀，介紹了鍵合強(qiáng)度的分析方法，以及鈮酸鋰鍵合晶圓在集成光電子器件中的最新研究進(jìn)展，展望了鈮酸鋰鍵合技術(shù)的未來(lái)發(fā)展。