x-y-θ_z大行程無耦合并聯(lián)壓電微動平臺的設計

摘要： 為了實現(xiàn)大位移行程、無耦合運動的精密定位，設計了一種結構緊湊、工作臺面大的x-y-θ_z三自由度并聯(lián)壓電微動平臺。該文首先采用雙柔性薄板的柔順橋式放大機構對微動平臺的驅動單元進行了設計，并基于雙平行四連桿柔順機構設計了微動平臺的臺體，進而獲得平臺的整體結構。再采用有限元方法對平臺的應力、位移放大倍數(shù)和模態(tài)進行了分析。最后對所設計的微動平臺進行實驗系統(tǒng)的搭建，并對平臺的位移和頻率...