高品質(zhì)因數(shù)壓電驅(qū)動氮化鋁基懸臂梁微諧振器

摘要： 針對當(dāng)前壓電驅(qū)動懸臂梁諧振器存在加工工藝復(fù)雜、成本較高的問題，該文提出了一種基于氮化鋁支撐層的新型壓電驅(qū)動懸臂梁層疊結(jié)構(gòu)，它不僅能有效降低加工難度，還能在實現(xiàn)器件小型化的同時保持較高的品質(zhì)因數(shù)。該文通過理論分析研究了固定頻率下諧振器品質(zhì)因數(shù)與器件尺寸設(shè)計的關(guān)系，并對比了不同支撐層材料對諧振器品質(zhì)因數(shù)的影響。通過實驗研究了電極尺寸設(shè)計對諧振器在真空中性能的影響，從而確定了工作在面...