壓電微納定位平臺(tái)自適應(yīng)陷波濾波在線諧振抑制
壓電與聲光
頁(yè)數(shù): 5 2023-10-20
摘要: 壓電驅(qū)動(dòng)柔性微納米定位平臺(tái)通常呈現(xiàn)低阻尼諧振模態(tài),高速運(yùn)動(dòng)時(shí)易激發(fā)機(jī)械諧振,從而嚴(yán)重影響控制系統(tǒng)穩(wěn)定性、控制帶寬和軌跡跟蹤精度。為消除當(dāng)前諧振控制器對(duì)平臺(tái)動(dòng)力學(xué)建模精度的依賴性,該文設(shè)計(jì)了一種自適應(yīng)陷波濾波器來實(shí)現(xiàn)壓電微納定位平臺(tái)的在線實(shí)時(shí)抑制諧振。首先,搭建了壓電驅(qū)動(dòng)柔性微納定位平臺(tái)系統(tǒng)并建立其機(jī)電耦合動(dòng)力學(xué)模型;其次,利用快速傅里葉變換方法在線分析了閉環(huán)系統(tǒng)誤差信號(hào),設(shè)計(jì)平...