Bi₂O₃摻雜Ba_(0.85)Ca_(0.15)(Zr_(0.1)Ti_(0.88)Mn_(0.02))O₃壓電陶瓷及微型氣泵的制備與性能研究

摘要： 采用固相法制備了Bi₂O₃摻雜的Ba_(0.85)Ca_(0.15)(Zr_(0.1)Ti_(0.88)Mn_(0.02))O₃壓電陶瓷，研究了體系的微觀結(jié)構(gòu)，以及Bi₂O₃摻雜量對體系壓電性能的影響；將體系最優(yōu)性能的樣品裝配成微型氣泵，并與日本村田的MZB1001T02微型泵進行了性能對比。研究表明，Bi₂O₃摻雜Ba_(0.85)Ca_(0.15)(Zr_(0...