封閉式柱形微型慣性沖擊壓電馬達(dá)

摘要： 針對精密儀器及微小型設(shè)備對線性微進(jìn)給驅(qū)動馬達(dá)的需求，該文設(shè)計了一種封閉式柱形微型慣性沖擊壓電馬達(dá)，并驗證了馬達(dá)工作原理的可行性。制作出馬達(dá)樣機(jī)并進(jìn)行實(shí)驗測試，結(jié)果表明，施加預(yù)緊力為0.25 N,驅(qū)動信號鋸齒波電壓峰-峰值為50 V,頻率為500 Hz時，馬達(dá)空載輸出最大速度為6.19 mm/s,步進(jìn)分辨率為12μm;施加預(yù)緊力為0.5 N,驅(qū)動信號電壓峰-峰值為50 V,頻率為...