高頻低溫漂TC-SAW濾波器的設計

摘要： 該文設計了一款溫度補償型聲表面波(TC-SAW)濾波器，建立了彈性材料及壓電材料溫度方程，對濾波器的溫度場進行仿真分析。通過在壓電材料(128°YX-LiNbO₃)上沉積SiO₂作為溫度補償層，降低了濾波器的頻率溫度系數(shù)。為了解決在沉積SiO₂溫度補償層后，諧振器的反諧振頻率處出現(xiàn)雜散響應，通過增加電極厚度，降低了諧振器雜散響應對濾波器性能的影響。采用四階級聯(lián)提高濾波器的...