C波段寬帶薄膜體聲波濾波器設計及驗證

摘要： 介紹了一種適用于三維堆疊的凸點式晶圓級封裝的小型化C波段寬帶薄膜體聲波濾波器的設計方法，并進行了工藝驗證。通過對壓電層薄膜進行鈧摻雜、材料參數(shù)提取、結(jié)構(gòu)模型優(yōu)化實現(xiàn)了相對帶寬大于5%的薄膜體聲波濾波器設計。通過表面硅基微機電系統(tǒng)(MEMS)工藝制備與凸點式晶圓級封裝實現(xiàn)濾波器制備。研制出標稱頻率5 800 MHz、插入損耗小于2.8 dB、阻帶抑制大于40 dBc、體積僅1.0...