激光輔助車削工藝參數(shù)對(duì)單晶硅表面質(zhì)量的影響
宇航材料工藝
頁數(shù): 5 2023-12-21
摘要: 為了提高單晶硅激光輔助車削加工表面質(zhì)量,通過開展激光輔助和常規(guī)車削加工試驗(yàn),結(jié)合表面粗糙度、表面形貌及拉曼光譜檢測,研究激光輔助車削技術(shù)對(duì)加工質(zhì)量的影響?;谡辉囼?yàn)方法,研究單晶硅激光輔助車削工藝參數(shù)對(duì)表面粗糙度的影響;通過方差分析和極差分析評(píng)估各因素對(duì)表面粗糙度的影響。研究結(jié)果表明:與常規(guī)車削相比,激光輔助車削可有效提高加工表面質(zhì)量,降低材料表面的殘余應(yīng)力。主軸轉(zhuǎn)速、進(jìn)給速...