高損傷閾值激光薄膜的制備方法

摘要： 近年來，隨著大功率、高能量激光系統(tǒng)的不斷發(fā)展，光學(xué)薄膜的抗激光能力成為制約激光系統(tǒng)高質(zhì)量發(fā)展的瓶頸之一。基于不同的制備方法及工藝參數(shù)會對薄膜的損傷閾值產(chǎn)生重要的影響，就薄膜鍍制前、鍍制中以及鍍制后三個方面對提高損傷閾值的方法進行綜述，其中包括膜料優(yōu)選、膜系設(shè)計、溶劑清洗、離子束清理、制備方法、離子束后處理、激光后處理等內(nèi)容。