超聲振動對于激光燒蝕鋁表面形貌研究

摘要： 對超聲振動輔助激光加工鋁表面的微觀形貌進(jìn)行研究，分析材料表面激光燒蝕閾值的計算方法，通過試驗研究了激光脈沖頻率和超聲振動對激光燒蝕凹坑直徑的影響。研究發(fā)現(xiàn)，引入超聲振動后，凹坑直徑降低0.67～2.82μm,燒蝕閾值由5.76 J/cm~2增加到6.52 J/cm~2,掃描速度100 mm/s時，軌跡寬度由46.3μm增加到62.2μm,并可以制備一種特殊橢球體結(jié)構(gòu)，降低表面粗...