納秒激光刻蝕非等截面微溝槽工藝研究

摘要： 為提高微溝槽吸液芯的毛細(xì)性能，采用V字掃描法在紫銅板上刻蝕非等截面微溝槽，研究激光光斑間距、掃描速度、掃描次數(shù)、脈寬和頻率等工藝參數(shù)對(duì)非等截面微溝槽形貌尺寸的影響規(guī)律。研究發(fā)現(xiàn)，隨著激光光斑間距增大，溝槽寬度也隨之增大，溝槽深度呈現(xiàn)先增大后減小的趨勢(shì)，溝槽表面粗糙度則先減小后增大；V字掃描法的路徑間距在10～30μm時(shí)刻蝕出的溝槽形貌最佳且兩端毛細(xì)壓力差較大；當(dāng)激光掃描次數(shù)為5...