工件特征在機(jī)測(cè)量的關(guān)鍵誤差分析與補(bǔ)償研究

摘要： 針對(duì)激光在機(jī)測(cè)量工件特征時(shí)的測(cè)量精度問(wèn)題，對(duì)測(cè)量系統(tǒng)的關(guān)鍵誤差影響因素及補(bǔ)償應(yīng)用進(jìn)行了研究。使用激光位移傳感器作為測(cè)量工具對(duì)工件特征進(jìn)行在機(jī)測(cè)量時(shí)，測(cè)量結(jié)果受激光位移傳感器傾斜誤差和數(shù)控機(jī)床幾何誤差影響。為了校正激光位移傳感器在物面傾斜時(shí)引起的測(cè)量誤差，設(shè)計(jì)了傾斜誤差試驗(yàn)，利用勒讓德多項(xiàng)式對(duì)傾斜誤差進(jìn)行了建模和補(bǔ)償，補(bǔ)償后傾斜誤差可減小至±0.025 mm以內(nèi)。針對(duì)不動(dòng)式激光在...