干涉式集成光學(xué)陀螺關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用前景分析

摘要： 干涉式集成光學(xué)陀螺儀利用光電子集成技術(shù)實(shí)現(xiàn)陀螺系統(tǒng)的芯片化，在實(shí)現(xiàn)高性能的同時(shí)，可實(shí)現(xiàn)批量化生產(chǎn)，滿足低體積、重量、功耗和成本（SWa P+C）指標(biāo)，在無人領(lǐng)域具有重要應(yīng)用前景。根據(jù)干涉式集成光學(xué)陀螺的發(fā)展脈絡(luò)及趨勢，設(shè)計(jì)了基于氮化硅的低損耗波導(dǎo)環(huán)和單偏振波導(dǎo)諧振腔、異質(zhì)波導(dǎo)集成耦合結(jié)構(gòu)等關(guān)鍵部件，搭建了基于無源芯片與光纖環(huán)的干涉式集成光學(xué)陀螺實(shí)驗(yàn)樣機(jī)，實(shí)現(xiàn)精度0.03°/h(...