一種用于旋轉調制技術的微型超聲電機定子

摘要： 微型超聲電機是實現(xiàn)旋轉調制技術在微小型慣導上應用的關鍵部件，薄膜型MEMS超聲電機是微型旋轉調制技術的理想載體，然而現(xiàn)有MEMS超聲電機存在著縱向穩(wěn)定性和轉速穩(wěn)定性較差、晃動干擾大的問題，難以滿足旋轉調制需求。為解決該瓶頸問題，提出了一種基于MEMS制造工藝的工作在B15模態(tài)下的行波微型超聲電機定子結構，設計懸空式圓環(huán)形定子結構，對定子薄膜型鋯鈦酸鉛（PZT）層進行分區(qū)激勵來獲...