永磁同步直線電機(jī)的降階線性自抗擾控制器研究

摘要： 針對(duì)永磁同步直線電機(jī)(PMSLM)在各種高精密的半導(dǎo)體封裝裝備中，應(yīng)用環(huán)境復(fù)雜多變，存在各種擾動(dòng)直接影響其運(yùn)動(dòng)性能的問題，提出降階自抗擾控制方法。為了實(shí)現(xiàn)該系統(tǒng)高速高精密運(yùn)動(dòng)控制，先通過階躍響應(yīng)實(shí)驗(yàn)獲取了系統(tǒng)的開環(huán)傳遞函數(shù)，并針對(duì)使用常規(guī)觀測(cè)器容易導(dǎo)致系統(tǒng)相位滯后的問題，在傳統(tǒng)線性自抗擾(LADRC)基礎(chǔ)上，設(shè)計(jì)了基于降階線性擴(kuò)張狀態(tài)觀測(cè)器(RLESO)的降階線性自抗擾控制器(...