電化學(xué)放電加工中氣膜厚度及其影響研究
制造技術(shù)與機(jī)床
頁(yè)數(shù): 8 2023-10-02
摘要: 玻璃作為一種非導(dǎo)電硬脆材料,在光學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、微機(jī)電系統(tǒng)等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。電化學(xué)放電加工作為針對(duì)絕緣硬脆材料的有效微細(xì)加工技術(shù),可以在玻璃上進(jìn)行有效的微結(jié)構(gòu)加工。在電化學(xué)放電加工中,放電現(xiàn)象通過(guò)擊穿氣膜產(chǎn)生,氣膜作為加工過(guò)程中最重要的介質(zhì),其質(zhì)量是形成良好的表面微結(jié)構(gòu)的重要因素。文章研究的重點(diǎn)是氣膜特性及其對(duì)放電能量分布的影響。研究采用三因子三水平的全因子試驗(yàn)方法,以電源、占空比...