納米氮化鈦薄膜對(duì)高頻陶瓷窗片二次電子發(fā)射率的影響研究

摘要： 納米TiN薄膜可用來(lái)抑制高頻陶瓷窗片的二次電子倍增，縮短器件高功率老煉時(shí)間，提高微波發(fā)射性能。文章通過(guò)專(zhuān)用真空鍍膜設(shè)備，采用同軸圓柱靶和平面靶的直流磁控反應(yīng)濺射方法，通過(guò)優(yōu)化制備工藝參數(shù)，在陶瓷窗片的表面成功制備了納米氮化鈦（TiN）薄膜。采用掃描電子顯微鏡（SEM）、X射線衍射儀（XRD）、X射線光電子能譜儀（XPS）等現(xiàn)代分析手段進(jìn)行了測(cè)試分析，結(jié)果表明：納米TiN薄膜表面...