大氣壓雙頻Ar/O₂放電等離子體特性的數(shù)值模擬

摘要： 文章采用等離子體流體理論模型，研究了雙頻容性耦合放電中高頻源頻率對大氣壓氬氣與氧氣混合氣體放電等離子體的各類粒子密度與各項等離子體參數(shù)的影響。通過模擬不同高頻源頻率的放電，得到了放電空間中各類粒子的密度、電子溫度、電場等參數(shù)的一維時空分布，進一步了解了雙頻放電中高頻源頻率對等離子體特性的影響作用。研究結果表明：當放電電壓固定時，隨高頻源頻率的升高，電子密度逐漸增大；電子溫度、電...