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ECR-MPCVD單晶金剛石外延生長(zhǎng)研究

真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào) 頁(yè)數(shù)： 7 2023-08-31
摘要： 借助高速光纖光譜儀對(duì)ECR微波等離子體進(jìn)行實(shí)時(shí)診斷，研究了等離子體空間分布以及工作氣壓和甲烷濃度對(duì)等離子體發(fā)射光譜的影響，并在ECR-MPCVD設(shè)備上研究了單晶金剛石同質(zhì)外延生長(zhǎng)工藝。在CH4/H2體系下，ECR微波等離子體與運(yùn)行于中高氣壓下等離子體中所含基團(tuán)種類(lèi)基本相同。且等離子體各基團(tuán)譜峰相對(duì)強(qiáng)度沿磁場(chǎng)強(qiáng)度梯度下降的方向減弱，在磁場(chǎng)共振區(qū)(875 Gs)最強(qiáng)，將基片臺(tái)置...

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