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基于氫氧催化鍵合的石英光學(xué)真空腔體低溫封裝工藝研究

真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào) 頁(yè)數(shù)： 8 2023-07-20
摘要： 文章提出了一種基于氫氧催化鍵合技術(shù)制作小型光學(xué)石英真空腔體的低溫封裝工藝。通過(guò)預(yù)實(shí)驗(yàn)探討了鍵合溶液、固化溫度、穩(wěn)定時(shí)間等因素對(duì)石英玻璃鍵合的影響，優(yōu)選出一套當(dāng)前實(shí)驗(yàn)條件下的最佳鍵合方案。研究表明，兩種實(shí)驗(yàn)濃度下的Na2SiO3溶液鍵合強(qiáng)度普遍高于NaOH;1:6的Na2SiO3溶液鍵合在80℃下加速固化能夠?qū)崿F(xiàn)不低于12 MPa的抗拉強(qiáng)度，并將固化時(shí)間縮短至1天；Na_...

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