庫(kù)侖型靜電卡盤(pán)吸附力受電極結(jié)構(gòu)及晶圓氧化層影響的研究

摘要： 靜電卡盤(pán)是半導(dǎo)體領(lǐng)域中關(guān)鍵器件，主要起到支撐固定晶圓的作用。文章利用麥克斯韋仿真軟件計(jì)算了靜電卡盤(pán)工作時(shí)，電極周圍電壓分布，得到了電極邊緣效應(yīng)小于4%，電極邊緣效應(yīng)對(duì)吸附力的影響可以忽略不計(jì)的結(jié)論；并依據(jù)等效電容的方法建立了計(jì)算庫(kù)侖型靜電卡盤(pán)吸附力的仿真模型。研究搭建了真空腔室，并依據(jù)氣體背吹法，測(cè)試了兩款具有不同電極結(jié)構(gòu)的靜電卡盤(pán)的吸附力，以及靜電卡盤(pán)對(duì)不同材料晶圓的吸附力。...