超靈敏度真空檢漏技術進展

摘要： 文章主要介紹國內(nèi)外超靈敏度真空檢漏技術的現(xiàn)狀與發(fā)展。超靈敏度真空檢漏是指對小于10^-12 Pa·m~3/s的漏率進行檢測的技術，它是高可靠長壽命真空器件封裝的重要診斷手段。當前普通商用檢漏儀受質(zhì)譜分析下限和微小電流測量下限等因素的限制，其實際檢漏下限一般為10^-11 Pa·m~3/s量級，采用軟件修正后顯示的檢漏下限可達10^-12 Pa·m~3/s量級。為了解...