一次性可編程存儲器的數(shù)據(jù)保持特性建模及分析

摘要： 基于300 mm 0.18μm MS 5 V工藝平臺設(shè)計并流片了1k×16一次性可編程OTP器件，并對存儲單元的結(jié)構(gòu)、工作原理及工藝等可能影響數(shù)據(jù)保持壽命的因素進行了分析。根據(jù)Arrhenius壽命模型對不同樣品設(shè)置了高溫老化實驗測試，收集數(shù)據(jù)并對OTP器件的保持特性進行建模。通過225℃、250℃和275℃條件下的高溫老化加速實驗，擬合樣品最大數(shù)據(jù)保持時間曲線。在生產(chǎn)過程中可...