FBAR濾波器TRL校準(zhǔn)的仿真與測(cè)試
中國(guó)測(cè)試
頁(yè)數(shù)： 7 2023-04-27
摘要： 針對(duì)薄膜體聲波諧振腔（FBAR）濾波器測(cè)試夾具誤差校準(zhǔn)，提出一種改進(jìn)的TRL校準(zhǔn)方法，將三維電磁仿真和TRL計(jì)算結(jié)合，用于測(cè)試套件（夾具和TRL校準(zhǔn)件）的前期設(shè)計(jì)與優(yōu)化，確保TRL校準(zhǔn)件達(dá)到足夠精度。由于DUT(device under test，待測(cè)器件)參數(shù)未知，實(shí)測(cè)中采用四種不同結(jié)構(gòu)的測(cè)試套件，校準(zhǔn)前各組測(cè)試結(jié)果差異較大，但TRL校準(zhǔn)后高度吻合，通帶內(nèi)的差異小于0.2 d... （共7頁(yè)）
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