一種高密度壓電變形鏡驅動電源的設計

摘要： 壓電變形鏡是自適應光學系統(tǒng)的執(zhí)行機構。針對壓電變形鏡高精度、高動態(tài)應用的問題，設計了一款新型的壓電陶瓷驅動電源，同時采取線性校正網(wǎng)絡確保了放大電路的穩(wěn)定性，并對影響輸出精確度及非線性失真的原因進行了分析。實驗結果表明，當驅動容性負載為0.33μF時，該驅動電源的大信號帶寬可達3 kHz,階躍響應的上升時間優(yōu)于80μs,下降時間優(yōu)于130μs,輸出線性度為99.6%。