差分式聲表面波溫度應(yīng)變復(fù)合傳感器
應(yīng)用聲學(xué)
頁數(shù)： 6 2022-12-01
摘要： 基于聲表面波理論和微擾理論，提出了并研制由3個(gè)諧振器組成的差分式聲表面波溫度應(yīng)變復(fù)合傳感器。通過有限元分析軟件對(duì)AT切和XY切的兩種聲表面波諧振器進(jìn)行了仿真，根據(jù)其頻率-應(yīng)變響應(yīng)和頻率-溫度響應(yīng)，設(shè)計(jì)并研制了能夠進(jìn)行溫度補(bǔ)償和應(yīng)力-應(yīng)變補(bǔ)償?shù)臏囟葢?yīng)變傳感器，傳感器的應(yīng)力測(cè)量靈敏度為100 Hz/με，溫度測(cè)量靈敏度為80 kHz/℃。該傳感器成功應(yīng)用到了隔離開關(guān)的狀態(tài)監(jiān)測(cè)。現(xiàn)場...
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