一種分時差分的頻率調制MEMS加速度計

摘要： 為提升MEMS加速度計溫度適應性，設計了頻率調制和分時差分方法。基于靜電剛度效應，將敏感質量塊因加速度產生的位移變化調制成諧振頻率的變化，兼顧了位移檢測的溫度系數較低與諧振頻率檢測不易受電路噪聲干擾的優(yōu)點，且采用單個諧振器在時間上通過剛度切換進行分時差分，從而降低零偏隨溫度的漂移。通過實驗測得，在10 V調諧電壓下，加速度計室溫下的零偏穩(wěn)定性為76.79μg。-40℃～60℃全... （共7頁）