粘-慣性耦合節(jié)流靜壓氣浮軸承微振動特性研究

摘要： 小孔節(jié)流氣浮軸承因結(jié)構(gòu)簡單、剛度較高等優(yōu)點在超精密加工中獲得了廣泛的應(yīng)用。然而由于小孔節(jié)流氣浮軸承存在微振動，限制了超精密加工表面粗糙度的進(jìn)一步提升。為了抑制小孔節(jié)流氣浮軸微振動，文章提出了一種新型粘-慣性耦合節(jié)流氣浮軸承，通過數(shù)值模擬的方法研究了新型節(jié)流器的結(jié)構(gòu)參數(shù)對氣浮軸承微振動特性的影響，在此基礎(chǔ)上開發(fā)了試驗平臺對新型氣浮軸承振動特性進(jìn)行測試。研究結(jié)果表明，粘-慣性耦合節(jié)...