多級努森真空泵能效分析

摘要： 基于熱流逸效應(yīng)工作的努森真空泵相較于傳統(tǒng)真空泵，因具有無運動部件且結(jié)構(gòu)簡單的優(yōu)點而倍受關(guān)注，其應(yīng)用通常采用多級串聯(lián)結(jié)構(gòu)。文章以努森真空泵能耗和效率模型為基礎(chǔ)，著重考慮級數(shù)與熱量傳遞和壓力分配的關(guān)系，建立了多級努森真空泵氣體工質(zhì)流態(tài)處于過渡流時的能耗（熱流比）與運行效率模型，進而研究了影響熱流比及運行效率與級數(shù)、努森數(shù)、壓比、溫差等參數(shù)的關(guān)系。結(jié)果表明，努森數(shù)從0.2增至8，對應(yīng)... （共7頁）