玻璃破碎新鮮表面吸氣特性及其誘導下快速抽氣新方法研究

摘要： 高真空獲得及維持技術對微納材料制備、微電子設備制造、真空電子器件工藝優(yōu)化等領域的科學研究及工業(yè)應用至關重要。文章面向高真空獲得及維持過程中吸氣材料吸氣機理解析及尋優(yōu)材料替代之關鍵科學問題，致力于克服傳統(tǒng)高真空技術維持高真空狀態(tài)能耗高、傳統(tǒng)高真空獲得方法依賴于昂貴設備和復雜操作等缺陷，提出了一種基于玻璃破碎新鮮表面誘發(fā)高真空獲得及壓力下限突破的新方法；文章首先開展了吸氣成分及分壓... （共8頁）