一種雙工位NEG吸氣性能測(cè)試裝置設(shè)計(jì)

摘要： 文章設(shè)計(jì)了可選擇定壓法或定容法測(cè)量非蒸散型吸氣劑（NEG）吸氣性能的測(cè)試裝置，裝置設(shè)計(jì)有兩個(gè)結(jié)構(gòu)對(duì)稱的測(cè)試工位，可同時(shí)對(duì)兩個(gè)測(cè)試樣品進(jìn)行預(yù)處理和性能測(cè)試，裝置結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理緊湊，測(cè)試效率高。測(cè)試裝置可直接通過(guò)軟件輸出吸氣速率和吸氣量等性能參數(shù)。測(cè)試結(jié)果表明該裝置本底真空度高，其中樣品室真空度優(yōu)于1×10^-7 Pa，漏放氣速率小于3×10^-7 Pa·L/s；測(cè)試數(shù)據(jù)精度... （共9頁(yè)）