便攜式分壓力質(zhì)譜計(jì)校準(zhǔn)裝置的性能測試研究

摘要： 文章對新研制的便攜式分壓力質(zhì)譜計(jì)校準(zhǔn)裝置的部分性能進(jìn)行了測試。采用參考電離真空計(jì)測量了裝置的極限真空度；對于流導(dǎo)值在10^-2 m~3/s的圓孔型抽氣流導(dǎo)元件，通過精確測量其直徑和厚度的尺寸，采用公式計(jì)算得到分子流條件下的流導(dǎo)值；對于孔徑在微米量級的進(jìn)氣流導(dǎo)元件，采用定容衰減壓力的方法通過實(shí)驗(yàn)測量確定其流導(dǎo)值；采用同一真空計(jì)分別測量抽氣流導(dǎo)元件兩端的氣體壓力獲得返流比。測試... （共6頁）