臨界噴嘴在真空泵抽速測試及計量中研究和應(yīng)用

摘要： 真空泵抽速測量有多種方法，其準(zhǔn)確度受到方法、儀表精度等影響。其中定流量法作為其中一種方式，其建立在一元可壓縮流體理論基礎(chǔ)上。文章結(jié)合一元可壓縮流體基礎(chǔ)理論與現(xiàn)有測試方法，提出將噴嘴臨界狀態(tài)作為定流量法測量基礎(chǔ)。通過噴嘴臨界狀態(tài)的出現(xiàn)以及臨界值計算，作為真空泵流量的測量方法基準(zhǔn)數(shù)值，測量過程中只需要測定環(huán)境參數(shù)就可以測定真空泵流量，進而計算真空泵在某規(guī)定壓力下的抽速。該測量方法裝... （共7頁）