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自支撐BaTiO3薄膜的制備與鐵電性研究

真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào) 頁數(shù)： 7 2024-03-08
摘要： BaTiO3(BTO)鐵電氧化物薄膜因其在非易失信息存儲(chǔ)、智能傳感、生物醫(yī)療、納米發(fā)電機(jī)等領(lǐng)域潛在的應(yīng)用而受到了人們的廣泛關(guān)注。目前，為了保證BTO薄膜能高質(zhì)量外延生長，通常選擇晶格匹配的氧化物做襯底，所生長的薄膜與襯底之間存在較強(qiáng)的化學(xué)鍵，很難將其從襯底上大面積地剝離下來，所以也無法實(shí)現(xiàn)下一步轉(zhuǎn)移到可用于高密度器件集成的的Si基襯底上。文章使用水溶Sr3Al2O6(S...

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