高轉(zhuǎn)速背景下渦輪分子泵的發(fā)展機(jī)遇與挑戰(zhàn)

摘要： 傳統(tǒng)直葉片結(jié)構(gòu)的渦輪分子泵在高轉(zhuǎn)速的背景下面臨著新的發(fā)展機(jī)遇與挑戰(zhàn)，為了突破當(dāng)前遇到的“渦輪分子泵的抽氣速率隨著渦輪轉(zhuǎn)速增加到一定程度以后就不再增加，仿佛進(jìn)入了一個(gè)飽和狀態(tài)”的瓶頸問(wèn)題，文章從分子氣體動(dòng)力學(xué)基本原理出發(fā)，采用蒙特卡洛方法，分析了渦輪轉(zhuǎn)速提高以后給渦輪分子泵的抽氣機(jī)制帶來(lái)的新變化，發(fā)現(xiàn)了傳統(tǒng)直葉片結(jié)構(gòu)的抽氣葉列和抽氣模式與目前達(dá)到的高轉(zhuǎn)速不匹配限制了抽速的提升，但... （共11頁(yè)）