TiZrNbTaMo高熵合金表面化學氣相沉積制備多晶金剛石膜

摘要： 本文以親碳元素組成的TiZrNbTaMo高熵合金作為基材，通過化學氣相沉積的方法在其表面沉積金剛石膜。結果表明：金剛石能夠在TiZrNbTaMo高熵合金表面快速形核，形核密度高達7.53×10~9 cm^-2，且在30 min內形成連續(xù)的金剛石膜；金剛石在TiZrNbTaMo高熵合金表面的形核密度及生長速率遠高于在組成高熵合金的單質金屬表面的形核密度及生長速率。這是由于在金...