用于迷你無人飛行器探測的硅基MEMS輪形振膜光纖聲傳感器研制

摘要： 針對迷你無人飛行器（mini-UAV）探測難度大的問題，仿真設(shè)計并制作了諧振頻率接近mini-UAV噪聲特征頻率的硅基微機電系統(tǒng)（MEMS）輪形振膜，結(jié)合精密機械加工制作了光纖法布里-珀羅干涉式聲傳感器。測試結(jié)果表明，該光纖聲傳感器的諧振頻率為7.279 kHz，與仿真結(jié)果基本一致，其在頻率為7 kHz聲波正入射的條件下的靈敏度為1.8 V/Pa，信噪比為71 dB，最小可探測...