腔體材料對(duì)氧化銅箔襯底上制備石墨烯的影響

摘要： 傳統(tǒng)的化學(xué)氣相沉積法制備的石墨烯普遍存在晶疇面積小、晶界缺陷多的問(wèn)題，嚴(yán)重制約了大面積石墨烯的性能及應(yīng)用。本文采用低壓化學(xué)氣相沉積技術(shù)在受限生長(zhǎng)腔中的氧化銅箔襯底上制備石墨烯，對(duì)比研究了石英和剛玉兩種材質(zhì)的受限生長(zhǎng)腔中，不同甲烷流量和生長(zhǎng)時(shí)間條件下氧化銅箔襯底上石墨烯的形核生長(zhǎng)狀況。結(jié)果表明，相同生長(zhǎng)條件下，相較于石英受限生長(zhǎng)腔，雖然剛玉受限生長(zhǎng)腔中石墨烯的晶疇尺寸較小，但是氧... （共7頁(yè)）