耦合諧振系統(tǒng)中基于Fano共振的光學(xué)壓力傳感器

摘要： 光學(xué)壓力傳感器在微小形變檢測、環(huán)境監(jiān)測以及醫(yī)學(xué)領(lǐng)域等方面具有非常重要的作用.然而,外加壓力與諧振腔形變前后的光學(xué)響應(yīng)之間的定量關(guān)系很難獲得.本文提出了一種基于金屬-介質(zhì)-金屬波導(dǎo)的耦合諧振腔系統(tǒng)用于實現(xiàn)光學(xué)壓力傳感器.利用有限元方法對該系統(tǒng)的力學(xué)特性以及受力前后的光學(xué)傳輸特性進(jìn)行詳細(xì)分析.仿真結(jié)果顯示諧振腔的最大形變量與所施壓力呈簡單的線性關(guān)系.給出了光學(xué)壓力傳感器靈敏度的直接...