具有多孔雙微結(jié)構(gòu)層的柔性電容式壓力傳感器

摘要： 電極和介電層的材料性能和表面結(jié)構(gòu)是決定柔性電容式壓力傳感器性能的關(guān)鍵因素。將碳納米管(CNT)與硅橡膠結(jié)合制備出拉伸性能優(yōu)良的斜線型微結(jié)構(gòu)電極層。以聚二甲基硅氧烷(PDMS)/BaTiO₃/SrTiO₃復(fù)合材料制備多孔砂紙微結(jié)構(gòu)介電層。電極與介電層交界面構(gòu)成雙重微結(jié)構(gòu)以提升電荷攜帶能力。場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡與光學(xué)顯微鏡觀測(cè)結(jié)果驗(yàn)證了上述微結(jié)構(gòu)的存在?；陔娙菽Ｐ偷姆治霰砻鳎?..