高精度磁柵式隧道磁阻微位移傳感器

摘要： 利用隧道磁阻(TMR)效應(yīng)設(shè)計了一種結(jié)構(gòu)相對簡單的磁柵式高精度微位移傳感器。首先，介紹了磁柵式隧道磁阻位移傳感器檢測原理，憑借隧道磁阻傳感器高靈敏度的特點檢測磁柵敏感軸上方的空間磁場，接著利用COMSOL有限元仿真軟件對磁柵結(jié)構(gòu)進行仿真設(shè)計，驗證了磁柵的磁場分布特性。通過搭建四橋路檢測電路能夠使TMR傳感器有效抑制外部磁場干擾以及溫度對TMR傳感器的影響；得益于90°移相電路模...