氟等離子體對石墨烯納晶碳膜的刻蝕加工及摩擦學性能調(diào)控

摘要： 針對石墨烯低摩擦特性在宏觀應用中存在的機械強度低、磨損壽命短等問題，提出采用氟等離子體刻蝕加工調(diào)控石墨烯納晶碳膜以提升其摩擦學性能。通過表征刻蝕加工對碳膜形貌和結構的影響，提出氟等離子體刻蝕加工機理包括原子去除和離子注入兩方面。一方面刻蝕加工可通過物理轟擊或發(fā)生化學反應去除碳膜表面原子，有效降低碳膜表面粗糙度。另一方面刻蝕加工可通過亞表面注入使碳膜表層結構重組，sp~3鍵含量增...