電場驅動微尺度3D打印掩膜電解加工微結構

摘要： 針對目前掩膜微細電解加工掩膜制作工藝復雜、微結構加工精度差等問題，提出電場驅動微尺度3D打印掩膜與陰極振動脈沖電解加工新方法。充分利用微尺度3D打印高分辨率、掩膜靈活性的優(yōu)勢，實現聚乳酸(PLA)材料微米級掩膜的精確打印，結合陰極振動進給與脈沖電壓同步控制的電解加工工藝，取得了較好的加工效果。研究微尺度3D打印掩膜工藝規(guī)律，建立了陰極振動與脈沖同步電解加工模型，仿真分析間隙動態(tài)...