基于磁控濺射的氮化物薄膜摩擦與腐蝕性能研究

摘要： 通過磁控濺射法在Ti45Nb合金表面濺射了TiN、ZrN和ZrTiN無毒陶瓷薄膜。采用掃描電鏡、X射線衍射對樣品的微觀以及相結(jié)構(gòu)進行了表征。樣品的摩擦磨損性能通過往復(fù)式摩擦試驗機進行評價，而其腐蝕性能通過Tafel極化和電化學(xué)阻抗譜測量來評價。結(jié)果表明：薄膜的結(jié)構(gòu)都為面心立方結(jié)構(gòu)，且都沿（200）方向擇優(yōu)生長。相比于TiN和ZrN薄膜，ZrTiN薄膜為合金化復(fù)合薄膜，改變了Ti...