AlN基板表面狀態(tài)對AlN-AMB覆銅板剝離強(qiáng)度影響機(jī)理的研究

摘要： 為了探究AlN基板表面狀態(tài)對AlN-AMB覆銅板剝離強(qiáng)度影響的機(jī)理，對研磨型和即燒型兩類AlN基板表面的微觀形貌及其制備的AlN-AMB覆銅板界面反應(yīng)層、斷面和斷層微觀顯微結(jié)構(gòu)進(jìn)行分析。結(jié)果表明，即燒型AlN基板表面平整、致密，其制備的AlN-AMB覆銅板界面反應(yīng)層平整、致密，銅與AlN基板剝離的斷層位于基體內(nèi)部，Cu發(fā)生明顯塑性變形，剝離強(qiáng)度高達(dá)19.053 N/mm。而研磨... （共6頁）