一種寬帶低損耗微同軸功分器

摘要： 為了降低功分器的插損、提高功分端口之間的隔離度，對傳統(tǒng)威爾金森功分器進行改進，用矩形微同軸結(jié)構(gòu)代替微帶線結(jié)構(gòu)，設(shè)計了一種新型功分器。微同軸基于微機電系統(tǒng)(MEMS)工藝，主要由改進的五層電鍍銅層構(gòu)成，通過調(diào)整內(nèi)導(dǎo)體的寬度可獲得10～100Ω變化范圍的特性阻抗，進一步擴大了多階阻抗變換的阻抗設(shè)計范圍。功分器三個端口設(shè)計為共面波導(dǎo)(CPW)結(jié)構(gòu)，適用于G-S-G探針測試及金絲互連。... （共6頁）