基于單傳感器的晶圓校準(zhǔn)器旋轉(zhuǎn)軸回轉(zhuǎn)誤差補(bǔ)償研究

摘要： 半導(dǎo)體晶圓校準(zhǔn)器旋轉(zhuǎn)軸的回轉(zhuǎn)誤差補(bǔ)償是提高晶圓校準(zhǔn)器定位精度的關(guān)鍵技術(shù)，為此提出一種基于單傳感器的晶圓校準(zhǔn)器旋轉(zhuǎn)軸回轉(zhuǎn)誤差補(bǔ)償方法，可有效避免在裝置中引入多傳感器等輔助設(shè)備帶來的新誤差和多次標(biāo)定問題。該方法采用集合平均和小波閾值去噪的雙重濾波法降低采集信號(hào)的隨機(jī)噪聲，通過數(shù)理統(tǒng)計(jì)誤差分離法精確分離高信噪比測(cè)量信號(hào)中混入的圓度誤差；同時(shí)根據(jù)多步法計(jì)算準(zhǔn)確的回轉(zhuǎn)誤差，利用得到的誤差... （共10頁）