基于引線鍵合的高速高精度微動臺結(jié)構(gòu)設(shè)計與分析

摘要： 由壓電陶瓷驅(qū)動的柔性微動臺在高速精密定位領(lǐng)域占有重要地位，針對引線鍵合過程焊頭會產(chǎn)生過沖對芯片沖擊，降低芯片質(zhì)量的問題，提出了一種基于壓電陶瓷驅(qū)動的微動臺的焊頭過沖補償原理，設(shè)計了一種基于彈簧-放大機構(gòu)復(fù)合結(jié)構(gòu)高速高精度微動臺。對微動臺進行理論分析和有限元分析，結(jié)果表明，微動臺放大比為4.02倍，一階固有頻率為683.57 Hz,且在動態(tài)運動下最大應(yīng)力滿足材料要求。得到施加彈簧... （共7頁）